桌上型能谱系统

 

 

 

SEM操作规程

EDS操作规程

 

预约方式:

       由于现在仪器还没有正式开放,暂定由各研究所每周一提交下周的预约申请,预约最小时段为半个工作日,然后由仪器管理人员安排下周的测试时间。

 

 

 

 

仪器名称:桌上型能谱系统

仪器型号:HIROX SH-4000

生产产家:浩视(中国)有限公司

功能特点:可用于测量样品的二次电子和背散射电子图像,并进

                   行电子能谱成分分析,具有操作简便、成像速度快、

                   无需液氮冷却、使用及维护成本低等优点。

性能指标:

放大倍数 ×30 - 60000,最大分辨率: 8 nm (30 kV)

5 kV to 30 kV 可变加速电压

二次电子探测器 (可选背散射电子探测器)

5轴操作(X, Y, Z, Tilt & Rotation)

4段式可调光阑

能谱有效探测面积10 mm²

能量分辨率: ≤125 eV (MnKa, 100000 cps)

能测定4号元素Beryllium (4)  至Am (95),可以对观察

范围内样品做自动定量分析,并进行元素线分布和面

分布扫描

应用范围:可用于快速分析晶体、陶瓷和纳米材料样品的微观形

                   貌、缺陷、微区成分分析等。

主要附件:离子溅射镀膜仪


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